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chengqiankk

银虫 (小有名气)

[求助] PLD生长PZT薄膜一直生长不出来,跪求解答!!!!!!!!! 已有1人参与

我的PLD生长PZT的条件是:准分子激光器(248nm),8Hz,300mj,4000个脉冲,550℃下沉积(真空腔是沈科仪的),压强25Pa,原位退火750℃下20min。得到的xrd图谱在附件里,从XRD中可以看出来  得到的薄膜物相根本就不对,跪求高手解答!!!!!!!!!!

PLD生长PZT薄膜一直生长不出来,跪求解答!!!!!!!!!
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精于心,简于形
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diwunju

铁杆木虫 (正式写手)

穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-04-08 08:32:13
长不出来有很多原因,给你几个建议,(1)先看看长出来的是什么,一般pyrochlore相比较常见,如果是这个有无数文献讨论过解决办法;(2)550度是真的550度吗?测得准吗?即使准似乎也太低了一些,长不出来不奇怪,你提高100度试试看;(3)沈科仪做的东西长不出来一点也不奇怪。
2楼2014-04-08 08:19:38
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saiwing

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
550度应该部分得到perovskite,兼有pyrochlore。从XRD上感觉29度那个峰应该是Pyrochlore的样子。奇怪怎么750度还有pyrochlore?也可能是PbO或者PbTiO3shift了。

不过我sputtering一般回火都是650度,750度略高了吧? 而且550度原位deposition会大量损失Pb吧,PLD我不了解。

建议你度个1um,回火之前测一下stiochiometry是不是你预期的范围,我怀疑是Pb deficiency
3楼2014-04-08 09:37:13
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diwunju

铁杆木虫 (正式写手)

pyrochlore一旦形成,靠退火很难转变到钙钛矿,只有长的时候就不让它长出来。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2014-04-08 21:09:06
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