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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » XPS怎么求膜厚
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lianglei

至尊木虫 (正式写手)

逐梦小虫

[求助] XPS怎么求膜厚 已有1人参与

请问有人会用XPS计算沉积薄膜的厚度吗？

实验是通过热蒸发在半导体基底上沉积金属薄膜，大概几nm厚，想知道准确的薄膜厚度。
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我思故我在
1楼 2014-04-01 18:54:36
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lianglei

至尊木虫 (正式写手)

逐梦小虫
引用回帖:
2楼: Originally posted by yanbaojun at 2014-06-03 10:44:51
建议你用已知厚度的样品，在一定刻蚀条件下进行刻蚀，先把刻蚀速率摸索出来后，再测未知厚度的样品。

谢谢回复！其实我是想控制沉积速率，而不是求未知膜后。现在知道了可以用石英微天平进行控制
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我思故我在
3楼2014-06-04 16:34:33
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yanbaojun

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
lianglei: 金币+1, ★有帮助 2014-06-08 21:30:07
建议你用已知厚度的样品，在一定刻蚀条件下进行刻蚀，先把刻蚀速率摸索出来后，再测未知厚度的样品。
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天道酬勤！
2楼2014-06-03 17:44:51
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yanbaojun

金虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lianglei at 2014-06-04 16:34:33
谢谢回复！其实我是想控制沉积速率，而不是求未知膜后。现在知道了可以用石英微天平进行控制...

呵呵，晶振仪测量比较准确的。
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天道酬勤！
4楼2014-06-14 17:45:31
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