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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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shuitong110

银虫 (小有名气)

[求助] 原子力测量软件CSPM咨询(表面粗糙度分析报告)

大家好,利用原子力测量软件CSPM测量硅片表面粗糙度,所得图形和分析报告如下,图形中最大值在130nm左右,而分析报告中,均方根粗糙度仅为20nm左右。二者什么联系?软件中,均方根粗糙度是怎么计算的?

原子力测量软件CSPM咨询(表面粗糙度分析报告)
2-11.gif
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shuitong110

银虫 (小有名气)

这个是测量时的表面形貌图
原子力测量软件CSPM咨询(表面粗糙度分析报告)-1
2-1.png

2楼2014-03-25 11:52:01
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