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shuitong110银虫 (小有名气)
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[求助]
原子力测量软件CSPM咨询（表面粗糙度分析报告）
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大家好，利用原子力测量软件CSPM测量硅片表面粗糙度，所得图形和分析报告如下，图形中最大值在130nm左右，而分析报告中，均方根粗糙度仅为20nm左右。二者什么联系？软件中，均方根粗糙度是怎么计算的？ 2-11.gif |
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shuitong110
银虫 (小有名气)
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- 注册: 2013-11-02
- 性别: MM
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2014-03-25 11:52:01