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现在AAO可以做成保留Au基底的双通结构吗? 已有1人参与
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| 大部分双通AAO都是把铝基底和阻挡层都除去,只留下那层模板的。现在能做到保留铝基底的双通AAO吗(就是下面的铝页跟上面模板一样是多孔结构)?比如从上往下刻蚀,利用模板掩护,先把阻挡层去除,再把铝选择性除去。有文献报到过吗? |
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zyoypx
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