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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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ZYQZPF

铜虫 (小有名气)

[求助] 光刻胶边缘厚中间薄怎么办? 已有3人参与

刚学光刻,每次做完涂胶之后总是发现边缘的胶特别厚,而且呈旋状。各位前辈给个建议吧,这是什么原因造成的,该怎么解决呢?
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comeon
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★
ZYQZPF: 金币+2 2014-03-26 22:07:06
你做的如果是方片的话,边缘肯定是一塌糊涂。
如果你做圆片还这样,说明转速远低于这款胶的额定转速。
如果你是做厚胶,我建议不要再纠结了。避免不了的,除非你能接受喷胶。
5楼2014-03-25 18:40:30
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liujinlei08

金虫 (正式写手)

Dr.

顶一个,同求。。。哈哈
2楼2014-03-20 23:26:41
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
转速不足吧,要么就是你胶滴太多了。
哈哈哈哈,来吧
3楼2014-03-21 08:19:50
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这个说实话是没法避免的,现在还没有很好的方法来解决;只能通过后续工艺处理了!厚边是难以避免的,和胶的流体力学有关貌似,你可以去查下
4楼2014-03-21 08:37:13
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