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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶边缘厚中间薄怎么办？
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ZYQZPF

铜虫 (小有名气)

[求助] 光刻胶边缘厚中间薄怎么办？ 已有3人参与

刚学光刻，每次做完涂胶之后总是发现边缘的胶特别厚，而且呈旋状。各位前辈给个建议吧，这是什么原因造成的，该怎么解决呢？
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comeon
1楼 2014-03-20 22:26:37
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个说实话是没法避免的，现在还没有很好的方法来解决；只能通过后续工艺处理了！厚边是难以避免的，和胶的流体力学有关貌似，你可以去查下
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4楼2014-03-21 08:37:13
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liujinlei08

金虫 (正式写手)

Dr.
顶一个，同求。。。哈哈
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2楼2014-03-20 23:26:41
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
转速不足吧，要么就是你胶滴太多了。
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哈哈哈哈，来吧
3楼2014-03-21 08:19:50
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
ZYQZPF: 金币+2 2014-03-26 22:07:06
你做的如果是方片的话，边缘肯定是一塌糊涂。
如果你做圆片还这样，说明转速远低于这款胶的额定转速。
如果你是做厚胶，我建议不要再纠结了。避免不了的，除非你能接受喷胶。
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5楼2014-03-25 18:40:30
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