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V2O3掺杂Cu做阻变器薄膜，应该怎么做到良好的掺杂？
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| V2O3掺杂Cu做阻变器薄膜，应该怎么做到良好的掺杂？如果使用组合靶，选择什么比例比较合适？着急啊，老板说这几天就把组合靶比例定下来，我们只是比较掺杂和不掺杂，不比较掺杂量。但是相关文献里也没有涉及比较好的掺杂量的选择。另：不知道有没有其他合适的掺杂方法呢？实验室用的是磁控溅射设备，不是溶胶凝胶。 |
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3楼2015-02-20 10:41:06
201516darry
金虫 (正式写手)
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
2楼2015-02-20 08:53:37
