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V2O3掺杂Cu做阻变器薄膜,应该怎么做到良好的掺杂?
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| V2O3掺杂Cu做阻变器薄膜,应该怎么做到良好的掺杂?如果使用组合靶,选择什么比例比较合适?着急啊,老板说这几天就把组合靶比例定下来,我们只是比较掺杂和不掺杂,不比较掺杂量。但是相关文献里也没有涉及比较好的掺杂量的选择。另:不知道有没有其他合适的掺杂方法呢?实验室用的是磁控溅射设备,不是溶胶凝胶。 |
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201516darry
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