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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 谁知道电子束蒸镀si3N4用什么坩埚？
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dedaozhuce

新虫 (初入文坛)

[求助] 谁知道电子束蒸镀si3N4用什么坩埚？ 已有4人参与

谁知道谁知道电子束蒸镀si3N4用什么材料的坩埚啊？
哪位大神说一下？
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1楼 2014-03-12 12:44:56
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橡胶人

荣誉版主 (文坛精英)

优秀版主优秀版主优秀版主

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2楼2014-03-12 14:45:30
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cmh09

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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蒸镀si3N4温度要多高啊。耐高温的金属坩埚就钨钼。陶瓷坩埚就氮化硼坩埚，使用温度2000度这样。
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3楼2014-03-13 10:30:01
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小白雪

木虫 (正式写手)

名字好幼稚的。。。

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钨坩埚。。只是挺贵的。
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单身贵族。
4楼2014-03-13 16:38:29
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2483008922

铁虫 (初入文坛)

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氮化硅温度挺高的，我也在纠结这个问题，你最后用的什么坩埚呀？
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5楼2014-04-12 09:15:31
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