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liguozun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by lixiaolong8_ at 2014-03-13 00:16:24
你应该是说反了，偏压越大反射功率应该也越大

可是我发现最近几次试验 偏压大了 反射功率特别小 有时候几乎为0 但是当偏压小了 反射功率就特别大接近输入功率了  很是不懂
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11楼2014-03-13 14:28:23
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liguozun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by zhaolianbo at 2014-03-13 08:37:02
楼主说的是射频电源吧？如果是的话反射功率要越小越好

嗯 就是射频电源  要使反射功率小 应该怎么设置 还有就是与偏压有关系吗 谢谢
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12楼2014-03-13 14:29:09
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zhaolianbo

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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12楼: Originally posted by liguozun at 2014-03-13 14:29:09
嗯 就是射频电源  要使反射功率小 应该怎么设置 还有就是与偏压有关系吗 谢谢...

你的电源应该是手动调节匹配的吧，具体的原理我不清楚，反射功率小了，偏压就大，其实偏压这个参数并不蛮重要，影响因素很多，如共V了、气压，靶材等等。射频电源溅射需要的是让入射功率接近施加的功率，让反射功率尽量小，到0最好，这个状态就是最好最稳定的射频溅射，你已经做到了，再去学习一下射频溅射的原理吧！
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13楼2014-03-14 08:09:38
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liguozun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
13楼: Originally posted by zhaolianbo at 2014-03-14 08:09:38
你的电源应该是手动调节匹配的吧，具体的原理我不清楚，反射功率小了，偏压就大，其实偏压这个参数并不蛮重要，影响因素很多，如共V了、气压，靶材等等。射频电源溅射需要的是让入射功率接近施加的功率，让反射功率 ...

嗯  谢谢  不过我的电源不是手动的  我也不知道怎么设置 就手动设置了功率和压强
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14楼2014-03-14 08:23:17
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zyjllyl

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
射频电源，不知道是哪家的呢？要匹配调节发射器的两个电容C1和C2（中科院微电子所射频电源好像就是这样的），这样偏压可以达到一个合适的值，另外偏压应该与你沉积的涂层有相关性，即不同的涂层或溅射模式（金属溅射或反应溅射）有关。
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15楼2014-03-14 09:06:30
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liguozun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
15楼: Originally posted by zyjllyl at 2014-03-14 09:06:30
射频电源，不知道是哪家的呢？要匹配调节发射器的两个电容C1和C2（中科院微电子所射频电源好像就是这样的），这样偏压可以达到一个合适的值，另外偏压应该与你沉积的涂层有相关性，即不同的涂层或溅射模式（金属溅射 ...

北京创始威纳科技的MSP-300B的，好像是自动匹配的这个我还真不清楚，望指点

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16楼2014-03-15 16:50:27
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