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沉积速率 非常快的靶材推荐 >1nm/s
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在做纳米多层膜结构,因为涉及到晶体薄膜,其需要高温退火处理,工序需要自己生长基底![]() 请问哪些靶材能在SiO2或Ag上快速生长,越快越好,要镀0.5um左右 ,谢谢! |
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