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沉积速率 非常快的靶材推荐 >1nm/s
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在做纳米多层膜结构，因为涉及到晶体薄膜，其需要高温退火处理，工序需要自己生长基底 请问哪些靶材能在SiO2或Ag上快速生长，越快越好，要镀0.5um左右  ，谢谢！ |
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 磁控溅射靶材资料大全 |
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