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木星人士

新虫 (正式写手)

[求助] 沉积速率 非常快的靶材推荐 >1nm/s

在做纳米多层膜结构,因为涉及到晶体薄膜,其需要高温退火处理,工序需要自己生长基底
请问哪些靶材能在SiO2或Ag上快速生长,越快越好,要镀0.5um左右,谢谢!
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木星人士

新虫 (正式写手)

2楼2014-03-11 09:08:51
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木星人士

新虫 (正式写手)

别沉。。
3楼2014-03-11 13:15:47
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木星人士

新虫 (正式写手)

别沉啊
4楼2014-03-11 17:26:18
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