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硅片高温退火后变脆的问题 已有2人参与
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前天进行两个硅片的扩散连接，1200°，保温1h，实验后发现硅片明显变脆了。一掰就碎。 想问下硅片高温退火的力学性能是怎样的，还有什么样的温度进行高温退火才能尽量避免硅片的高温脆化啊？ |
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wbcui
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