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zhenglibo0303

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】 Cu和Co的产出率

各位大侠帮帮忙!!!Ar气氛中,直流磁控溅射制备Cu和Co颗粒膜,求求助Cu和Co的产出率!!一经确认,赠金币10个!!

[ Last edited by ddx-k on 2008-12-12 at 19:45 ]
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虚心学习,天天向上!
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FePt

木虫 (正式写手)

ps:建议参考《薄膜物理》以及之前同一台仪器使用者的数据
4楼2008-02-25 15:49:26
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zhenglibo0303

铁杆木虫 (著名写手)

若有好答案,斑竹帮忙发金币!!!
虚心学习,天天向上!
2楼2008-02-03 09:46:29
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FePt

木虫 (正式写手)


musi429(金币+1,VIP+0):多谢交流~
溅射功率与多种因素有关,包括Ar气压,靶跟样品距离,靶尺寸,功率,磁场大小(磁控溅射中)

所以,你的问题没有准确答案,不同的仪器,即使参数相同,结果也不同

你可以自己测量,溅射一段时间,然后测量膜厚
3楼2008-02-25 15:47:38
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