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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 【求助】 Cu和Co的产出率
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zhenglibo0303

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】 Cu和Co的产出率

各位大侠帮帮忙！！！Ar气氛中，直流磁控溅射制备Cu和Co颗粒膜，求求助Cu和Co的产出率！！一经确认，赠金币10个！！

[ Last edited by ddx-k on 2008-12-12 at 19:45 ]
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虚心学习，天天向上！
1楼 2008-02-03 09:25:21
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zhenglibo0303

铁杆木虫 (著名写手)
若有好答案，斑竹帮忙发金币！！！
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虚心学习，天天向上！
2楼2008-02-03 09:46:29
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FePt

木虫 (正式写手)
★
musi429(金币+1,VIP+0):多谢交流~
溅射功率与多种因素有关，包括Ar气压，靶跟样品距离，靶尺寸，功率，磁场大小（磁控溅射中）

所以，你的问题没有准确答案，不同的仪器，即使参数相同，结果也不同

你可以自己测量，溅射一段时间，然后测量膜厚
赞一下(10人) 回复此楼
3楼2008-02-25 15:47:38
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FePt

木虫 (正式写手)
ps:建议参考《薄膜物理》以及之前同一台仪器使用者的数据
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4楼2008-02-25 15:49:26
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