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youyuncheng

新虫 (小有名气)

[求助] n型硅薄膜的制备方法已有1人参与

求各位大神指教一下n型硅半导体薄膜的制备方法。刚开始科研，好不容易想了个实验方案，但是碰到了材料制备的大问题。市场上买的大多是200微米的，我想要200纳米厚度的n型硅半导体薄膜，谁可以教教我怎么制备啊？
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1楼2014-03-03 16:18:14
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
mjx150: 欢迎到本版交流 2014-03-04 09:39:50
通过扩散工艺或者离子注入工艺掺杂就可以。
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奋斗。。。
2楼2014-03-03 22:09:11
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youyuncheng

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 月下冰魂 at 2014-03-03 22:09:11
通过扩散工艺或者离子注入工艺掺杂就可以。

可不可以具体一点，因为我想在硅薄膜中掺杂p获得n型硅，但是我查找的文献都是有关化学气相沉积法直接制备的掺杂半导体。您可不可以给我发些相关的文献。先谢谢你为我提供思路了。
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3楼2014-03-05 14:42:13
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月下冰魂

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by youyuncheng at 2014-03-05 14:42:13
可不可以具体一点，因为我想在硅薄膜中掺杂p获得n型硅，但是我查找的文献都是有关化学气相沉积法直接制备的掺杂半导体。您可不可以给我发些相关的文献。先谢谢你为我提供思路了。...

不用文献吧，你就直接搜索 扩撒 或者 离子注入工艺 掺杂 之类的关键词，这个应该是很基础的吧。。
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奋斗。。。
4楼2014-03-05 17:59:41
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