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gaochuanping

铁杆木虫 (著名写手)

终极狼

[求助] XPS深度分析法测量材料表面化学膜厚度 已有1人参与

本人利用XPS深度分析法估计金属材料(球墨铸铁)表面的化学反应膜(主要成分Fe及其各种氧化物)厚度,分析的工程师通过分析膜层某一深度上Fe和O两种元素的相对强度随溅射时间的变化来实现(当然Fe慢慢增大,O慢慢减小),且当O的强度减小到原来的一半时,就认定此时已经达到化学膜的最深层,从而认定膜厚(PS:当然随着溅射时间的持续,O还是存在的(这是原子渗透引起的),只是含量越来越小)。他说这是根据膜厚测量的国标来进行的,请问哪位虫子知道这个国标的名称(工程师找不到了,只是说有这个国标)?这种测量方法靠谱吗?谢谢!
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wulishi8

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

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gaochuanping: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-02-26 21:01:25
由于XPS的探测深度只有几个原子层厚度,所以利用XPS结合溅射的方法是可以测试膜的厚度的。
至于为什么是50%,可能是因为你测到了某几个原子层的中间的厚度为边界的时候,元素各占一半。
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2楼2014-02-26 16:02:46
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