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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射
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liguozun

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 已有5人参与

今天做磁控溅射 硅靶  功率200  压强2pa   大概溅射了有20分钟左右突然没有辉光了  请问是什么原因
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1楼 2014-02-21 14:09:42
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liguozun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by peterflyer at 2014-02-22 19:56:31
有无可能是冷却不好，靶材温度太高了？

这个怎么测，我设置的是100度

[ 发自小木虫客户端 ]
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9楼2014-02-23 08:02:54
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conquertju

金虫 (小有名气)
穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-02-23 08:42:08
没有工作气体了么？或者电源出问题了？

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2楼2014-02-21 14:49:32
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liguozun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by conquertju at 2014-02-21 14:49:32
没有工作气体了么？或者电源出问题了？

工作气体也有  电源应该是正常的  很郁闷
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3楼2014-02-21 16:50:01
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conquertju

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by liguozun at 2014-02-21 16:50:01
工作气体也有  电源应该是正常的  很郁闷...

重做还能起辉么？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2014-02-21 18:12:18
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