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liguozun

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[求助] 磁控溅射已有5人参与

今天做磁控溅射硅靶功率200 压强2pa 大概溅射了有20分钟左右突然没有辉光了请问是什么原因

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1楼 2014-02-21 14:09:42

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-02-23 08:42:43

有无可能是冷却不好，靶材温度太高了？

赞一下(1人)

7楼2014-02-22 19:56:31

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conquertju

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穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-02-23 08:42:08

没有工作气体了么？或者电源出问题了？

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2楼2014-02-21 14:49:32

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liguozun

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引用回帖:

2楼: Originally posted by conquertju at 2014-02-21 14:49:32
没有工作气体了么？或者电源出问题了？

工作气体也有电源应该是正常的很郁闷

3楼2014-02-21 16:50:01

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conquertju

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引用回帖:

3楼: Originally posted by liguozun at 2014-02-21 16:50:01
工作气体也有电源应该是正常的很郁闷...

重做还能起辉么？

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4楼2014-02-21 18:12:18

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