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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射
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liguozun

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射 已有5人参与

今天做磁控溅射 硅靶  功率200  压强2pa   大概溅射了有20分钟左右突然没有辉光了  请问是什么原因
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1楼 2014-02-21 14:09:42
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-02-23 08:42:43
有无可能是冷却不好，靶材温度太高了？
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7楼2014-02-22 19:56:31
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
能说一下是什么电源吗,交流还是中频的.中频的话有个反射参数要注意一下,有时候靶座温度太高,水温过高也会跳掉
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10楼2014-02-23 09:16:06
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普通回帖

conquertju

金虫 (小有名气)
穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-02-23 08:42:08
没有工作气体了么？或者电源出问题了？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2014-02-21 14:49:32
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liguozun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by conquertju at 2014-02-21 14:49:32
没有工作气体了么？或者电源出问题了？

工作气体也有  电源应该是正常的  很郁闷
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3楼2014-02-21 16:50:01
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conquertju

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by liguozun at 2014-02-21 16:50:01
工作气体也有  电源应该是正常的  很郁闷...

重做还能起辉么？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2014-02-21 18:12:18
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liguozun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by conquertju at 2014-02-21 18:12:18
重做还能起辉么？
...

重做能起辉，但是过一会就又没有了，而且会出现闪烁的情况

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5楼2014-02-22 07:09:08
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smile_丽

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-02-23 08:42:28
有可能混入其他杂质了，有时候我们这边也是，做一下清洁，又能起辉了
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6楼2014-02-22 10:32:38
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liguozun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by smile_丽 at 2014-02-22 10:32:38
有可能混入其他杂质了，有时候我们这边也是，做一下清洁，又能起辉了

下次做的时候我给清干净一点

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8楼2014-02-23 08:02:03
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liguozun

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by peterflyer at 2014-02-22 19:56:31
有无可能是冷却不好，靶材温度太高了？

这个怎么测，我设置的是100度

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9楼2014-02-23 08:02:54
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