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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 做大面积的二维光栅，周期1500纳米，条宽650纳米，用什么做呢？全息曝光？
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付付得真

金虫 (正式写手)

[交流] 做大面积的二维光栅，周期1500纳米，条宽650纳米，用什么做呢？全息曝光？

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1楼 2014-02-20 20:14:23
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
如果不超过厘米级的话，用stepper搞吧。
如果超过，那就找个好激光直写吧。
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8楼2014-02-25 16:56:12
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userhung

禁虫 (文学泰斗)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
帮顶，blessing, blessing, blessing ! ~~~
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2楼2014-02-20 20:20:22
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vsicbc

禁虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
付付得真: 金币+5 2014-02-20 22:25:13
本帖内容被屏蔽
4楼2014-02-20 21:47:49
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付付得真

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by vsicbc at 2014-02-20 21:47:49
这种东西对于我们实验室很好做，wafer scale

570(2)_1_2.jpg

怎么做的？全息曝光？
二维的光栅能做吗？
赞一下 回复此楼
5楼2014-02-20 22:25:56
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