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做大面积的二维光栅,周期1500纳米,条宽650纳米,用什么做呢?全息曝光?
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付付得真
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做大面积的二维光栅,周期1500纳米,条宽650纳米,用什么做呢?全息曝光?
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2014-02-20 20:14:23
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4楼
2014-02-20 21:47:49
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付付得真
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vsicbc
at 2014-02-20 21:47:49
这种东西对于我们实验室很好做,wafer scale
570(2)_1_2.jpg
怎么做的?全息曝光?
二维的光栅能做吗?
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5楼
2014-02-20 22:25:56
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付付得真
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vsicbc
at 2014-02-20 21:47:49
这种东西对于我们实验室很好做,wafer scale
570(2)_1_2.jpg
从图中给的信息看,周期略大啊
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6楼
2014-02-20 22:27:50
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vsicbc
at 2014-02-20 21:47:49
这种东西对于我们实验室很好做,wafer scale
570(2)_1_2.jpg
你这个X射线做的吧
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7楼
2014-02-25 16:53:35
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如果不超过厘米级的话,用stepper搞吧。
如果超过,那就找个好激光直写吧。
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8楼
2014-02-25 16:56:12
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