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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

[交流] 纳米制备艺术(18):硅尖列阵制备工艺(RIE on Si层)- Closer view 已有1人参与

【本木虫郑重声明:本人凡在小木虫上展示的结果都是本木虫Giantslug自己的工作,无任何搬运他人的结果】
纳米制备艺术(18):硅尖列阵制备工艺(RIE on Si层)- Closer view
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展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家,是本木虫的宗旨。
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

引用回帖:
4楼: Originally posted by profzhou at 2014-02-19 09:01:04
只能在硅上  做吗?  能不能在钛片 或者其他材料上做?

在其它材料上做,其工艺就完全两样了。钛材料的RIE非常困难,不可能做成象硅材料上那样的漂亮。
展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家,是本木虫的宗旨。
5楼2014-02-19 14:36:51
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profzhou

铜虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
这种形貌与基底  结合的牢固吗?
2楼2014-02-18 20:31:22
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

引用回帖:
2楼: Originally posted by profzhou at 2014-02-18 20:31:22
这种形貌与基底  结合的牢固吗?

非常牢固。因为这尖端部分本身就是来自基底的硅。
展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家,是本木虫的宗旨。
3楼2014-02-19 01:05:40
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profzhou

铜虫 (正式写手)

只能在硅上  做吗?  能不能在钛片 或者其他材料上做?
4楼2014-02-19 09:01:04
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