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纳米制备艺术(18):硅尖列阵制备工艺(RIE on Si层)- Closer view
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纳米制备艺术(18):硅尖列阵制备工艺(RIE on Si层)- Closer view
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1楼
2014-02-17 23:09:07
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Giantslug
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2楼
:
Originally posted by
profzhou
at 2014-02-18 20:31:22
这种形貌与基底 结合的牢固吗?
非常牢固。因为这尖端部分本身就是来自基底的硅。
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3楼
2014-02-19 01:05:40
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profzhou
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这种形貌与基底 结合的牢固吗?
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2楼
2014-02-18 20:31:22
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只能在硅上 做吗? 能不能在钛片 或者其他材料上做?
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4楼
2014-02-19 09:01:04
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4楼
:
Originally posted by
profzhou
at 2014-02-19 09:01:04
只能在硅上 做吗? 能不能在钛片 或者其他材料上做?
在其它材料上做,其工艺就完全两样了。钛材料的RIE非常困难,不可能做成象硅材料上那样的漂亮。
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展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家,是本木虫的宗旨。
5楼
2014-02-19 14:36:51
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