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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 纳米制备艺术（11）：高硅尖列阵！
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

[交流] 纳米制备艺术（11）：高硅尖列阵！ 已有6人参与

这是Giantslug本人亲自做的纳米硅尖列阵照片。那已经是11年前的事啰！
纳米制备艺术（11）：高硅尖列阵！
高硅尖列阵图。
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展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家，是本木虫的宗旨。
1楼 2014-02-13 09:50:31
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠
引用回帖:
11楼: Originally posted by lei0819 at 2014-02-22 00:00:03
需要的技术复杂不？

确实挺复杂的。需要电子束光刻，RIE，湿腐蚀，等等。

[ 发自小木虫客户端 ]
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展示所有自己研发的纳米制备工艺成果给大家，是本木虫的宗旨。
12楼2014-02-22 11:06:02
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chenjin

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你做的这个 老漂亮了
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2楼2014-02-13 16:33:55
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lzb7758520

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主，怎么没有scalebar啊？相当漂亮，楼主还在做这些吗？ 我也做过一些硅柱阵列，不过是用的光刻掩膜+深硅刻蚀，掩膜尺寸很大，因此做的柱子都是微米级的（2微米）。

[ Last edited by lzb7758520 on 2014-2-14 at 08:56 ]
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梦想不能当饭吃啊
3楼2014-02-14 08:52:34
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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠
引用回帖:
3楼: Originally posted by lzb7758520 at 2014-02-14 08:52:34
楼主，怎么没有scalebar啊？相当漂亮，楼主还在做这些吗？ 我也做过一些硅柱阵列，不过是用的光刻掩膜+深硅刻蚀，掩膜尺寸很大，因此做的柱子都是微米级的（2微米）。
...

照片上是有Scaling bar的。但由于太白而看不太清楚。我们还在做。
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4楼2014-02-14 09:19:39
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