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Giantslug

金虫 (小有名气)

纳米工匠

[交流] 纳米制备艺术(11):高硅尖列阵! 已有6人参与

这是Giantslug本人亲自做的纳米硅尖列阵照片。那已经是11年前的事啰!
纳米制备艺术(11):高硅尖列阵!
高硅尖列阵图。
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纳米工匠

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3楼: Originally posted by lzb7758520 at 2014-02-14 08:52:34
楼主,怎么没有scalebar啊?相当漂亮,楼主还在做这些吗? 我也做过一些硅柱阵列,不过是用的光刻掩膜+深硅刻蚀,掩膜尺寸很大,因此做的柱子都是微米级的(2微米)。
...

照片上是有Scaling bar的。但由于太白而看不太清楚。我们还在做。
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4楼2014-02-14 09:19:39
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6楼: Originally posted by 万德尔 at 2014-02-14 14:54:42
具体咋做的啊?我想学学!

邀请做我的听众,并关注我的专辑《图解微纳技术与应用》,那里以后会陆续介绍微纳加工的各种工艺,同大家分享和交流。
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7楼2014-02-14 16:04:19
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引用回帖:
8楼: Originally posted by raymondzsu at 2014-02-15 10:40:06
除了好看,能介绍一下有什么应用吗?

有许许多多的应用。请看我2月12日的帖子,专门罗列了硅尖列阵的应用。也请进入我的《图解微纳技术与应用》,那里也有专题介绍。欢迎成为我的听众,你会及时收到我的进一步制备供应。
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9楼2014-02-15 11:45:37
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11楼: Originally posted by lei0819 at 2014-02-22 00:00:03
需要的技术复杂不?

确实挺复杂的。需要电子束光刻,RIE,湿腐蚀,等等。

[ 发自小木虫客户端 ]
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12楼2014-02-22 11:06:02
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