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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 【求助】光刻利息旋涂如何处理翘曲处（凸面）？
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wjscl2009

新虫 (初入文坛)

[交流] 【求助】光刻利息旋涂如何处理翘曲处（凸面）？ 已有2人参与

由于基片太薄了，旋涂基台又小，无法托住整个基片，因为是基本是镀膜片，本身有一定翘曲，加上边缘悬空的自重，有一个明显的凸面，旋涂的时候始终无法涂到边缘那么一线，有没什么好的办法的？谢了
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1楼 2014-01-17 20:27:41
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wjscl2009

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 知返学霸 at 2014-01-17 22:49:45
机台可否抽真空

都是抽真空吸附基片的
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3楼2014-01-18 22:37:42
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知返学霸

金虫 (小有名气)
★
scu2020: 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2014-01-18 20:08:23
机台可否抽真空

[ 发自小木虫客户端 ]
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人生如此而已
2楼2014-01-17 22:49:45
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babyoflion

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
滴胶的时候直接将边缘涂抹上
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4楼2016-03-15 19:34:58
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