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【求助】光刻利息旋涂如何处理翘曲处（凸面）？ 已有2人参与
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| 由于基片太薄了，旋涂基台又小，无法托住整个基片，因为是基本是镀膜片，本身有一定翘曲，加上边缘悬空的自重，有一个明显的凸面，旋涂的时候始终无法涂到边缘那么一线，有没什么好的办法的？谢了 |
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2楼2014-01-17 22:49:45
babyoflion
金虫 (著名写手)
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4楼2016-03-15 19:34:58
