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【求助】光刻利息旋涂如何处理翘曲处(凸面)? 已有2人参与
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| 由于基片太薄了,旋涂基台又小,无法托住整个基片,因为是基本是镀膜片,本身有一定翘曲,加上边缘悬空的自重,有一个明显的凸面,旋涂的时候始终无法涂到边缘那么一线,有没什么好的办法的?谢了 |
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2楼2014-01-17 22:49:45
3楼2014-01-18 22:37:42
babyoflion
金虫 (著名写手)
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