| 查看: 447 | 回复: 0 | ||
[求助]
不同表征技术的scale有误差吗
|
|
很多表征技术都会涉及到长度或厚度的scale问题，举个例子，衬底上的一个多层结构（有掺杂），用SIMS测量的厚度为4um，但用AFM对其断面进行测量却是3.8或4.2um，甚至有更大的差别， 但这种差别是如何产生的，是完全由AFM和样品本身造成的吗？会跟SIMS有关吗？SIMS的scale是根据什么实现的？ 提供几种可能，不知道哪几种有道理。 1. 样品断面可能会有beveling的问题，结果是导致AFM测量结果大于真实值。 2. AFM系统中Piezoelectric Scanners的特性也会有一些影响， 3. SIMS测量不能完全保证与样品表面完全垂直，结果是导致SIMS测量结果比真实值大。在SIMS过程中会存在这个问题吗？ |
回复此楼» 猜你喜欢
修改论文，如何借助其他力量？
已经有4人回复
-
中山大学潘越教授课题组2027级推免硕士研究生招生 新增一个专业医学技术名额
已经有21人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有120人回复
-
哈尔滨工程大学国家级青年人才-27年申请考核制博士招生（材料、化学、生物医学专业）
已经有13人回复
-
HRTEM/原位TEM/HRSTEM检测｜价格优·周期短·可加急
已经有0人回复
-
大家平时也可以交流下
已经有1人回复
-
ELSEVIER旗下投稿decision in process后with editor，应该如何理解
已经有45人回复
点击这里搜索更多相关资源