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不同表征技术的scale有误差吗
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很多表征技术都会涉及到长度或厚度的scale问题，举个例子，衬底上的一个多层结构（有掺杂），用SIMS测量的厚度为4um，但用AFM对其断面进行测量却是3.8或4.2um，甚至有更大的差别， 但这种差别是如何产生的，是完全由AFM和样品本身造成的吗？会跟SIMS有关吗？SIMS的scale是根据什么实现的？ 提供几种可能，不知道哪几种有道理。 1. 样品断面可能会有beveling的问题，结果是导致AFM测量结果大于真实值。 2. AFM系统中Piezoelectric Scanners的特性也会有一些影响， 3. SIMS测量不能完全保证与样品表面完全垂直，结果是导致SIMS测量结果比真实值大。在SIMS过程中会存在这个问题吗？ |
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