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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 压电铁电材料 » PZT target 变黑
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saiwing

金虫 (小有名气)

[交流] PZT target 变黑

PZT target 用了几个小时后就会变黑，还有金色的条纹， 大家觉得都是什么，黑的是PbO？金色的是Ti或Zr的氧化物么？很好奇这个
使用前和使用后
PZT target 变黑
0906.jpg


PZT target 变黑-1
0906_4.jpg
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1楼2014-01-07 14:06:58
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saiwing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
25楼: Originally posted by wbcui at 2014-01-08 12:25:50
腔内有几个溅射靶啊？
背底真空多少？...

就这一个target
背底真空？什么意思？ 通常我抽到5x10-6（Torr? Pa?单位不知道）就开始工作
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26楼2014-01-08 13:07:03
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孙?�730

至尊木虫 (知名作家)
★
saiwing(金币+3): 谢谢参与
穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-01-08 13:04:01
Ti3+的无定形无可以是黑色的
赞一下 回复此楼
3楼2014-01-07 18:07:30
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