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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 压电铁电材料 » PZT target 变黑
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saiwing

金虫 (小有名气)

[交流] PZT target 变黑

PZT target 用了几个小时后就会变黑，还有金色的条纹， 大家觉得都是什么，黑的是PbO？金色的是Ti或Zr的氧化物么？很好奇这个
使用前和使用后
PZT target 变黑
0906.jpg


PZT target 变黑-1
0906_4.jpg
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1楼2014-01-07 14:06:58
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孙?�730

至尊木虫 (知名作家)
★
saiwing(金币+3): 谢谢参与
穿越千年: 欢迎来本版交流 2014-01-08 13:04:01
Ti3+的无定形无可以是黑色的
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3楼2014-01-07 18:07:30
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saiwing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 孙?�730 at 2014-01-07 18:07:30
Ti3+的无定形无可以是黑色的

侠士，能否详细解说一下，另外，“Ti3+的无定形无”貌似有笔误，感激不尽
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15楼2014-01-07 19:04:14
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孙?�730

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
15楼: Originally posted by saiwing at 2014-01-07 19:04:14
侠士，能否详细解说一下，另外，“Ti3+的无定形无”貌似有笔误，感激不尽...

Ti3+的无定形氧化物
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20楼2014-01-07 20:34:47
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
穿越千年: 鼓励交流 2014-01-08 13:04:17
楼主的溅射时哪里买的啊？
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21楼2014-01-07 23:02:01
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jonathonl

新虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
穿越千年: 金币+1, 新虫奖励，鼓励交流 2014-01-08 13:04:28
感觉是化学计量比或者氧空位浓度改变造成的
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22楼2014-01-08 08:17:52
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saiwing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
21楼: Originally posted by wbcui at 2014-01-07 23:02:01
楼主的溅射时哪里买的啊？

实验室的老机器，我也不知道哪里买的
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23楼2014-01-08 09:13:42
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saiwing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
22楼: Originally posted by jonathonl at 2014-01-08 08:17:52
感觉是化学计量比或者氧空位浓度改变造成的

有没有人专门研究过，我搜文献，找不准关键词
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24楼2014-01-08 09:14:17
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
23楼: Originally posted by saiwing at 2014-01-08 10:13:42
实验室的老机器，我也不知道哪里买的...

腔内有几个溅射靶啊？
背底真空多少？
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25楼2014-01-08 12:25:50
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saiwing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
25楼: Originally posted by wbcui at 2014-01-08 12:25:50
腔内有几个溅射靶啊？
背底真空多少？...

就这一个target
背底真空？什么意思？ 通常我抽到5x10-6（Torr? Pa?单位不知道）就开始工作
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26楼2014-01-08 13:07:03
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saiwing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
20楼: Originally posted by 孙?�730 at 2014-01-07 20:34:47
Ti3+的无定形氧化物...

有没有什么办法验证一下？或者相关的paper？
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27楼2014-01-08 13:08:31
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
26楼: Originally posted by saiwing at 2014-01-08 14:07:03
就这一个target
背底真空？什么意思？ 通常我抽到5x10-6（Torr? Pa?单位不知道）就开始工作...

如此，很有可能是氧化导致发黑啊
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28楼2014-01-08 20:42:44
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saiwing

金虫 (小有名气)
引用回帖:
28楼: Originally posted by wbcui at 2014-01-08 20:42:44
如此，很有可能是氧化导致发黑啊...

我试过更长时间的真空，比如到1x10-6， 但是情况没有改善，所以我觉得是stoichiometry导致生成了PbO，或者是Ti及Zr的氧化物
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29楼2014-01-08 22:22:17
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wiseroy

木虫 (著名写手)
做个xrd
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30楼2014-01-12 15:53:05
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boyuehu2楼
2014-01-07 14:18   回复  
saiwing(金币+3): 谢谢参与
天涯20124楼
2014-01-07 18:18   回复  
saiwing(金币+3): 谢谢参与
miaojiabing5楼
2014-01-07 18:19   回复  
saiwing(金币+3): 谢谢参与
laom20136楼
2014-01-07 18:21   回复  
saiwing(金币+3): 谢谢参与
userhung7楼
2014-01-07 18:24   回复  
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chqt8楼
2014-01-07 18:28   回复  
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clarktao9楼
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wlxiao10楼
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yaoyao14511楼
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假大空12楼
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