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fxq1988

新虫 (初入文坛)

[求助] OLED中的Ag阳极问题 已有5人参与

最近做的OLED器件总是导通，器件结构为玻璃衬底/Ag(20nm)/NPB(50)/Alq(60nm)/Al(100nm)。可能为银层有毛刺导致器件短路。
请问这种情况怎么能消除毛刺？
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爱拼才会赢
1楼 2014-01-02 20:04:52
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huyangoled

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我是做OLED用低粗糙度ITO玻璃的，主要工艺是玻璃衬底磁控溅射镀SiO2+ITO膜后再对ITO表面进行抛光处理,Ra一般达到0.5纳米，再跟进实验需要图案对ITO进行刻蚀图案，如有需要帮助可以联系我，手机号15348268601
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9楼2017-06-22 16:46:41
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
Ag是怎么做上去的呢？
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2楼2014-01-03 08:51:12
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yezhonghua09

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你可以做一个AFM，看一下你的阳极表明粗糙程度，如果是银太粗糙，通电时，可能导致尖端放电，器件发生短路。
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3楼2014-01-03 10:15:10
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fxq1988

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2014-01-03 08:51:12
Ag是怎么做上去的呢？

热蒸上去的，速率1.7埃每秒

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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爱拼才会赢
4楼2014-01-03 12:32:50
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