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fxq1988

新虫 (初入文坛)

[求助] OLED中的Ag阳极问题 已有5人参与

最近做的OLED器件总是导通,器件结构为玻璃衬底/Ag(20nm)/NPB(50)/Alq(60nm)/Al(100nm)。可能为银层有毛刺导致器件短路。
请问这种情况怎么能消除毛刺?
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爱拼才会赢
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
Ag是怎么做上去的呢?
2楼2014-01-03 08:51:12
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yezhonghua09

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你可以做一个AFM,看一下你的阳极表明粗糙程度,如果是银太粗糙,通电时,可能导致尖端放电,器件发生短路。
3楼2014-01-03 10:15:10
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fxq1988

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2014-01-03 08:51:12
Ag是怎么做上去的呢?

热蒸上去的,速率1.7埃每秒

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
爱拼才会赢
4楼2014-01-03 12:32:50
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fxq1988

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yezhonghua09 at 2014-01-03 10:15:10
你可以做一个AFM,看一下你的阳极表明粗糙程度,如果是银太粗糙,通电时,可能导致尖端放电,器件发生短路。

20纳米太薄了,出腔即被氧化。各种速率蒸发速率试过,基本都导通,正寻求一种方法去掉尖端放电!

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
爱拼才会赢
5楼2014-01-03 12:36:24
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beagle507

金虫 (小有名气)

beagle507
6楼2014-01-08 12:48:20
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beagle507

金虫 (小有名气)

beagle507
7楼2014-01-08 12:53:53
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xds1985

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你阳极用ITO试一下,估计就没问题啦
还有,用等离子体处理或者用氩气处理都可以防止。我是搞OLED的,给金币啊!
8楼2014-01-25 23:25:24
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huyangoled

新虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

我是做OLED用低粗糙度ITO玻璃的,主要工艺是玻璃衬底磁控溅射镀SiO2+ITO膜后再对ITO表面进行抛光处理,Ra一般达到0.5纳米,再跟进实验需要图案对ITO进行刻蚀图案,如有需要帮助可以联系我,手机号15348268601
9楼2017-06-22 16:46:41
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huyangoled

新虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

你可以测下AFM,如果出现表面有毛刺,我可以帮你进行抛光处理
10楼2017-06-22 16:48:01
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