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yangac_至尊木虫 (著名写手)
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溅射仪真空抽不到E-5Pa,不知道哪里漏气,请高手指点!!!
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沈阳科友溅射仪购买已经五六年,这学期老是出现问题。最近郁闷的事情是真空抽不到E-5Pa以下,各种地方都用酒精喷了,都没有漏气的地方,打开烘烤四五个小时后到达E-5Pa,如果晚上关掉烘烤,第二天早上又到了E-4Pa。不知道什么原因,因为我们长样品是在3*E-5才可以。问厂商也不知道什么原因,急人啊!哪位高手等指点一二啊,不胜感激啊!! |
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yangac_
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5楼2014-01-01 19:00:06
qfw_68
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2楼2013-12-31 22:11:16
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