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yangac_

至尊木虫 (著名写手)

[求助] 溅射仪真空抽不到E-5Pa,不知道哪里漏气,请高手指点!!!

沈阳科友溅射仪购买已经五六年,这学期老是出现问题。最近郁闷的事情是真空抽不到E-5Pa以下,各种地方都用酒精喷了,都没有漏气的地方,打开烘烤四五个小时后到达E-5Pa,如果晚上关掉烘烤,第二天早上又到了E-4Pa。不知道什么原因,因为我们长样品是在3*E-5才可以。问厂商也不知道什么原因,急人啊!哪位高手等指点一二啊,不胜感激啊!!

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上善若水任方圆
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
yangac_: 金币+4, 博学EPI+1, ★★★★★最佳答案 2014-01-01 09:35:56
wolfghost: 楼主,剩余金币可直接申请返还!为营造互助、和谐论坛共同努力,谢谢~ 2014-03-07 22:07:57
对于这种漏率,可以使用氦检漏仪来测一下就知道哪儿漏了。
不过这种氦检漏仪不太好找。
没有困难创造困难也要上网。
2楼2013-12-31 22:11:16
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yangac_

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by qfw_68 at 2013-12-31 22:11:16
对于这种漏率,可以使用氦检漏仪来测一下就知道哪儿漏了。
不过这种氦检漏仪不太好找。

谢谢
上善若水任方圆
3楼2014-01-01 09:41:16
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jiabaohong

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
yangac_: 金币+4, ★★★★★最佳答案 2014-01-01 19:00:13
腔室内沉积物是不是太厚,泵油多久没换了?
4楼2014-01-01 09:45:51
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yangac_

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by jiabaohong at 2014-01-01 09:45:51
腔室内沉积物是不是太厚,泵油多久没换了?

就是换了一下分子泵油开始真空不好。机械泵油和分子泵油是2013年7月份换的,我们都是一年换一次的。腔室内这么大怎么清理啊?有的地方是有一些沉积物。谢谢你哦
上善若水任方圆
5楼2014-01-01 19:00:06
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玉川真空

禁虫 (小有名气)

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6楼2014-01-08 17:54:31
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yangac_

至尊木虫 (著名写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 玉川真空 at 2014-01-08 17:54:31
漏,用氦质朴检漏仪,做一次检查。
内部放气,在不漏的情况下,保压看一下压强的变化。
找到问题之后,再做想对应的处理。

谢谢大家,很感激!真空已经正常了,就是一个螺丝松了,滑丝了,最后换掉就好了

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上善若水任方圆
7楼2014-01-09 00:03:19
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