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CVD腔体particle的问题
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| PECVD在dep过程中会在腔体四周也生长膜层，所以需要即使得清洗腔体，清洗腔体后会产生腔壁脱落型的PT,这种PT是不是在开始刚进行完腔体清洗最多，然后逐渐下降，求大神解答呀 |
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