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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » CVD腔体particle的问题
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ssfantasy

银虫 (正式写手)

[求助] CVD腔体particle的问题

PECVD在dep过程中会在腔体四周也生长膜层，所以需要即使得清洗腔体，清洗腔体后会产生腔壁脱落型的PT,这种PT是不是在开始刚进行完腔体清洗最多，然后逐渐下降，求大神解答呀
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挣点钱真不容易
1楼 2013-12-30 23:14:13
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