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ssfantasy

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专业: 半导体材料

[求助] CVD腔体particle的问题

PECVD在dep过程中会在腔体四周也生长膜层，所以需要即使得清洗腔体，清洗腔体后会产生腔壁脱落型的PT,这种PT是不是在开始刚进行完腔体清洗最多，然后逐渐下降，求大神解答呀

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挣点钱真不容易

1楼 2013-12-30 23:14:13

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