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衬底偏角的测试
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| 有哪位大虾知道如何精确测量外延衬底的偏角吗？我测的是Si，实验要求精确到0.01°，但是现在测出来有0.1°的误差，SiC，蓝宝石或Si的都行。 |
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wu1008
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