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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 衬底偏角的测试
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Celery-

银虫 (正式写手)

[求助] 衬底偏角的测试

有哪位大虾知道如何精确测量外延衬底的偏角吗？我测的是Si，实验要求精确到0.01°，但是现在测出来有0.1°的误差，SiC，蓝宝石或Si的都行。
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我只想平平淡淡。
1楼 2013-12-27 22:03:39
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wu1008

金虫 (著名写手)
穿越千年: 欢迎来本版交流 2013-12-30 09:15:58
什么叫“衬底偏角”
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2楼2013-12-30 00:02:39
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Celery-

银虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wu1008 at 2013-12-30 00:02:39
什么叫“衬底偏角”

这个问题把我问懵了，有点只可意会的感觉，我勉强解释一下，比如说我要在Si(111)面上长GaN,那么偏离[111]方向的角度就是衬底偏角。
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我只想平平淡淡。
3楼2014-02-16 15:22:19
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