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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » p型硅和n型硅处理流程有区别吗？
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cappuccino1

铁虫 (初入文坛)

[求助] p型硅和n型硅处理流程有区别吗？ 已有3人参与

我这边用超高真空的条件下处理硅片，原来n型硅片很容易在stm下出原子分辨，现在买的硅片不知道什么原因，出不了原子分辨了，总是有几个纳米的起伏度存在。有高手知道原因吗？
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1楼 2013-12-23 15:27:48
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cappuccino1

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-25 11:01:09
欧洲还是大陆？...

大陆的
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9楼2013-12-25 12:15:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
穿越千年: 鼓励积极交流 2013-12-23 20:44:15
你的片子是谁家供的？什么规格的？什么包装的？
几个纳米的起伏度你是通过stm测出来的？
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2楼2013-12-23 18:55:15
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cappuccino1

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-23 18:55:15
你的片子是谁家供的？什么规格的？什么包装的？
几个纳米的起伏度你是通过stm测出来的？

德国mateck的，stm扫出来的
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3楼2013-12-24 15:08:58
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by cappuccino1 at 2013-12-24 15:08:58
德国mateck的，stm扫出来的...

他们不是专业做硅片的，他们承诺的roughness很差的。根据你提供的信息，很有可能他们卖的是太阳能领域用的wafer。
只能说，你找的供应商不对。
如果你在国内的话，直接找“静静一yi”，国产片子的粗糙度应该在1nm左右，进口的应该在0.6～0.7nm这个水平。如果需要更好的，<0.5nm的也有，只是要贵一些。
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4楼2013-12-24 16:19:20
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