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cappuccino1

铁虫 (初入文坛)

[求助] p型硅和n型硅处理流程有区别吗? 已有3人参与

我这边用超高真空的条件下处理硅片,原来n型硅片很容易在stm下出原子分辨,现在买的硅片不知道什么原因,出不了原子分辨了,总是有几个纳米的起伏度存在。有高手知道原因吗?
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cappuccino1

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-23 18:55:15
你的片子是谁家供的?什么规格的?什么包装的?
几个纳米的起伏度你是通过stm测出来的?

德国mateck的,stm扫出来的
3楼2013-12-24 15:08:58
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
穿越千年: 鼓励积极交流 2013-12-23 20:44:15
你的片子是谁家供的?什么规格的?什么包装的?
几个纳米的起伏度你是通过stm测出来的?
2楼2013-12-23 18:55:15
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by cappuccino1 at 2013-12-24 15:08:58
德国mateck的,stm扫出来的...

他们不是专业做硅片的,他们承诺的roughness很差的。根据你提供的信息,很有可能他们卖的是太阳能领域用的wafer。
只能说,你找的供应商不对。
如果你在国内的话,直接找“静静一yi”,国产片子的粗糙度应该在1nm左右,进口的应该在0.6~0.7nm这个水平。如果需要更好的,<0.5nm的也有,只是要贵一些。
4楼2013-12-24 16:19:20
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cappuccino1

铁虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-12-24 16:19:20
他们不是专业做硅片的,他们承诺的roughness很差的。根据你提供的信息,很有可能他们卖的是太阳能领域用的wafer。
只能说,你找的供应商不对。
如果你在国内的话,直接找“静静一yi”,国产片子的粗糙度应该在1n ...

他们的硅片我们都用了十年了,只是最近才有问题
5楼2013-12-24 16:49:55
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