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【急求】等离子体产生方式
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虫号: 810647
注册: 2009-07-17
性别:
MM
专业: 无机非金属类电介质与电解
[
求助
]
【急求】等离子体产生方式
想请问各位一下:有没有教材或者论文讲解等离子体产生方式的?比如:icp使Ar产生等离子体后,有没有可能让这些等离子体与Cl2接触然后让Cl2等离子体化呢?有没有将这方面的书籍或者文献呢?
谢谢!
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2013-12-23 10:48:26
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