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auliuym木虫 (著名写手)
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硅晶片<100>上镀一层聚苯乙烯膜 已有3人参与
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| 欲在硅晶片<100>上镀一层聚苯乙烯膜,厚度无所谓,要求粗糙度和衬底一样在纳米级。本人按照文献提供的方法配置2%PS甲苯溶液,用移液枪小心地滴在硅晶片上,铺满,但是保证不流下来,放在90摄氏度烘箱中让甲苯挥发,得到的膜在灯光下观察不光滑,具体表现是滑滑溜溜的,有树根状条纹,或者有像陨石坑一样的好多圈,不知何故?望懂的教我,非常感谢。另,如果不放在90摄氏度下,自然挥发干,也不是很理想,现象如前面的一样。备注,甲苯是分析纯99.5%,聚苯乙烯购自美国,分子量125000~250000 |
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请问各位,如何使聚苯乙烯在晶片上成膜?
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saxon1234
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