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硅晶片<100>上镀一层聚苯乙烯膜 已有3人参与
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| 欲在硅晶片<100>上镀一层聚苯乙烯膜，厚度无所谓，要求粗糙度和衬底一样在纳米级。本人按照文献提供的方法配置2%PS甲苯溶液，用移液枪小心地滴在硅晶片上，铺满，但是保证不流下来，放在90摄氏度烘箱中让甲苯挥发，得到的膜在灯光下观察不光滑，具体表现是滑滑溜溜的，有树根状条纹，或者有像陨石坑一样的好多圈，不知何故？望懂的教我，非常感谢。另，如果不放在90摄氏度下，自然挥发干，也不是很理想，现象如前面的一样。备注，甲苯是分析纯99.5%，聚苯乙烯购自美国，分子量125000～250000 |
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