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auliuym

木虫 (著名写手)

[求助] 硅晶片<100>上镀一层聚苯乙烯膜 已有3人参与

欲在硅晶片<100>上镀一层聚苯乙烯膜,厚度无所谓,要求粗糙度和衬底一样在纳米级。本人按照文献提供的方法配置2%PS甲苯溶液,用移液枪小心地滴在硅晶片上,铺满,但是保证不流下来,放在90摄氏度烘箱中让甲苯挥发,得到的膜在灯光下观察不光滑,具体表现是滑滑溜溜的,有树根状条纹,或者有像陨石坑一样的好多圈,不知何故?望懂的教我,非常感谢。另,如果不放在90摄氏度下,自然挥发干,也不是很理想,现象如前面的一样。备注,甲苯是分析纯99.5%,聚苯乙烯购自美国,分子量125000~250000
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日月逝矣,岁不我与。
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三园石化

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
auliuym: 金币+2, 有帮助 2014-01-07 10:57:51
可以在水上捞膜试试看, 这样成膜比较均匀。另外,操作时的小抖动要严格控制,影响很大的!!抖动就是你形貌不好的主要原因。
7楼2013-12-28 09:20:35
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saxon1234

木虫 (著名写手)

害虫

是不是在烘箱中的问题呀,可能是挥发时受到扰动了,我只是猜想,哈哈
废话少说,好好做事
2楼2013-12-22 22:52:47
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auliuym

木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by saxon1234 at 2013-12-22 22:52:47
是不是在烘箱中的问题呀,可能是挥发时受到扰动了,我只是猜想,哈哈

不知道啊。谁不是硅晶片不够不干净,或溶液不够干净引起的?
日月逝矣,岁不我与。
3楼2013-12-23 08:39:12
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
auliuym: 金币+2, 有帮助 2013-12-25 21:57:25
这种方法。。很难形成纳米级粗糙度吧。。而且你烘箱啥的也不能保证绝对平整让它没有取向性,旋涂啥的可以试试
4楼2013-12-23 13:41:43
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