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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 请教SEM EDS 半定量测量的一些知识
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biofouling

木虫 (著名写手)

吃钢铁的小木虫

[求助] 请教SEM EDS 半定量测量的一些知识 已有2人参与

SEM EDS所测元素含量都是半定量的。我想知道对于含量低于0.2%的元素（某金属中），比如说C，它的测量误差有多少？是不是C因为很轻，而且含量低，所以就测不准？某些合金中的元素含量都很低，所以用SEM EDS是不是都测不准？有没有一个公认的依据。为什么发表的文章中用这种方法表征的很多？

看到有的帖子说能谱检测极限0.1-0.2W%，这个对吗？

谢谢
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1楼 2013-12-17 07:27:49
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
没戏的，Cx射线产率本来就低，而且越低原子序数越容易受到干扰，不建议用这个定量，你要说你样品有地方有c有地方没有C，用这个做mapping绘图还是有可信性的，光定量的话建议想别的办法
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2楼2013-12-17 08:30:54
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Tonia0

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

EDS分析的相对误差也有相应的规定：
a) 主元素(>20%wt)允许的相对误差 < ±5％。
b) ±3%wt < 含量 < 20%wt的元素，允许的相对误差< 10％。
c) ±1%wt < 含量 < 3%wt的元素，允许的相对误差< 30％。
d) ±0.5%wt < 含量 < 1%wt的元素，允许的相对误差< 50％。
对于不平坦试样，可用三点分析结果的的平均值表示，或在总量误差小于等于±5％的情况下，如确认没有漏测元素时，允许使用归一化值作为定量分析结果。偏差大于±5％，只能作为半定量结果处理。
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3楼2018-12-21 11:36:11
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