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急问：如何测量高分子薄膜的介电常数 已有2人参与
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大家好，薄膜是用旋涂方法制备在硅片上，si 片尺寸大概是10mm*10 mm,膜厚大概是30nm， 请教如何测量薄膜的介电常数？ 实验室现借有agilent LCR meter 一台，但是没有测量介电常数的专用夹具（价格有点贵，而且这台仪器属于别的组） 现只有一个夹子式样的夹具，这可否测出材料的介电常数这个夹子和样品接触的表面积很小，而且很难保证每次夹住样品的时候面积都一样，请问如何缩小试验误差？ 请问我是否需要在样品上下做电极（控制面积）？这样把硅的电容也算进来了，是不是减掉后就是薄膜的电容？？ 再根据公式计算出介电常数。 谢谢各位同学来看我的问题，这个问题很着急，请大牛来指导指导！ 刚注册，还是无产阶级，等有钱后一定还上 |
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