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chaiping

金虫 (小有名气)

[交流] 旋涂膜

请问大家,我用硅片做基底采用旋涂法制膜,测过XRD后却不出峰,是我的样品太少的原因吗,各位碰到过这样的情况吗,还有如果硅片是(100)的,那测出来的XRD应该只显示(100)吗,谢谢!!!
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congyu_2007

金虫 (著名写手)


3040821025(金币+1,VIP+0):谢谢提供
你的样品退火处理了吗?用旋涂法制膜一定要退火,使其成为晶态膜,若是溶胶膜或非晶态,肯定没有衍射峰啊。
如果能追随理想而生活,本着正直自由的精神,勇于直前的毅力,诚实不自欺的思想而行,则定能臻于至善至美的境地。
3楼2007-12-26 08:58:00
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miloyy

木虫 (正式写手)

XRD 的扫描模式?
2楼2007-12-25 22:02:26
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chaiping

金虫 (小有名气)

多谢楼上两位的回复,XRD就是常规的扫描模式,每分钟扫十度。样品是经过退火处理的,退火四分钟,是不是太短了,或者是不是因为旋涂的样品量太少了,
4楼2007-12-26 15:03:01
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