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紧急求助：求推荐 测量微量元素含量的方法！万分感激！
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我使用PLD（脉冲激光沉积）同时烧蚀Zn靶和Al靶，进行Al微量掺杂ZnO（Al的质量分数在10%以内），衬底为Si。 之前使用EDS来确定Al的含量，发现很不精确，误差太大！！！ 求各位同行，推荐一些比较靠谱，经济的测试方法，万分感谢！！ |
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